- Panoramica
- Descrizione del prodotto
- Parametri del prodotto
- Profilo aziendale
Informazioni di Base.
Descrizione del Prodotto
Macchina per rivestimento PVD per semiconduttori con doppio effetto magnetron RF a sputtering Film
Il coater sputtering RF a doppio obiettivo è un'apparecchiatura di rivestimento sputtering magnetron economicamente conveniente sviluppata in modo indipendente dalla nostra azienda. È standardizzato, modulare e personalizzabile. Ci sono obiettivi di magnetron da 1 pollice o 2 pollici che potete scegliere. I clienti possono scegliere il target in base alle dimensioni del substrato da rivestire. Il dispositivo è dotato di due alimentatori RF da 300 W. L'alimentatore CC può essere utilizzato per la preparazione di film metallico e l'alimentatore RF può essere utilizzato per la preparazione di materiali non metallici. I due obiettivi possono soddisfare le esigenze di rivestimenti multistrato o multipli.
La macchina di rivestimento è dotata di flussometro di massa ad alta precisione a due canali. Se si hanno altri requisiti, è possibile personalizzare il percorso del gas di un massimo di quattro flussi di massa per soddisfare i complessi requisiti di costruzione dell'ambiente del gas. Lo strumento è dotato di set di pompe turbomolecolari avanzati, il vuoto finale è fino a 1,0E-5Pa e altri tipi di pompe molecolari sono disponibili per l'acquisto. Il percorso del gas della pompa molecolare è controllato da più elettrovalvole; è possibile aprire la camera per estrarre il campione senza spegnere la pompa, migliorando notevolmente l'efficienza del lavoro. Questo prodotto può essere dotato di un computer industriale integrato per il controllo del sistema. Nel programma per computer, è possibile realizzare la maggior parte delle funzioni, come il controllo della pompa da vuoto e il controllo della potenza di sputtering, che possono migliorare ulteriormente la vostra efficienza sperimentale.
Applicazione di spalmatrice di polverizzazione a doppio bersaglio RF magnetron:
Questo dispositivo può essere utilizzato per preparare film sottili ferroelettrici monostrato o multistrato, film conduttivi, film in lega, film semiconduttori, film ceramici, Film dielettrici, film ottici, film di ossido, film duri, film di PTFE, e simili. Rispetto ad apparecchiature simili, la spalmatrice a doppio bersaglio magnetron non è solo ampiamente utilizzata, ma ha anche i vantaggi di piccole dimensioni e di facile utilizzo, ed è un'apparecchiatura ideale per preparare film di materiale in laboratorio.
Parametri tecnici del coater di sputtering DC a doppio obiettivo:
| Fase campione | Dimensioni | φ185mm | Precisione del controllo della temperatura | ±1ºC |
| Temperatura di riscaldamento | Max 500ºC | Velocità di rotazione | regolabile da 1 a 20 giri/min | |
| Testa bersaglio magnetron sputtering | Quantità | 2"×2 (1",2" opzionale) | Refrigeratore dell'acqua | Refrigeratore ad acqua circolante con portata di 10 l/min |
| Modalità di raffreddamento | Raffreddamento ad acqua | |||
| Camera a vuoto | Dimensioni camera | φ300mm×300 mm | Finestra di osservazione | φ100mm |
| Materiale della camera | Acciaio inox | Modalità di apertura | Coperchio superiore aperto | |
| Flussometro di massa | 2 canali; gamma di misurazione 100 SCCM; 100 SCCM (personalizzabile in base alle esigenze del cliente) | |||
| Sistema a vuoto | Modello | CY-GZK103-A. | Interfaccia di pompaggio | KF40 |
| Pompa molecolare | CY-600 | Interfaccia di scarico | KF16 | |
| Pompa di sostegno | pompa rotativa a palette | Misurazione del vuoto | Vacuometro composto | |
| Vuoto finale | 1,0E-5Pa | Alimentazione | CA; 220V 50/60Hz | |
| Velocità di pompaggio | Pompa molecolare: Pompa rotativa a palette 600L/S: 1.1L/S. Prestazioni di pompaggio gas complete: Vuoto fino a 1,0E-3Pa in 20 minuti | |||
| Configurazione dell'alimentazione | Quantità | Alimentazione RF×2 | Potenza di uscita massima | RF 300 W |
| Altri parametri | Tensione di alimentazione | AC220V, 50Hz | Dimensioni complessive | 600 mm×650 mm×1280 mm |
| Potenza totale | 2,5 KW | Peso totale | Circa 300 kg | |
D. sei un produttore o una società di commercio?
R. Siamo produttori di strumenti da laboratorio professionali, con un team di progettazione e una fabbrica con esperienza tecnica matura, e possiamo garantire la qualità dei prodotti e il prezzo ottimale.
D. come è il sistema di assistenza post-vendita dei prodotti della vostra azienda?
A. il periodo di garanzia del prodotto è di 12 mesi, possiamo fornire una manutenzione a vita. Disponiamo di reparti professionali di prevendita e post-vendita in grado di rispondere entro 24 ore per risolvere qualsiasi problema tecnico.
D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A.1. Se le merci sono in magazzino, sono 5-10 giorni. 2. Possiamo fornire servizi personalizzati ai nostri clienti. In genere, sono necessari 30-60 giorni a seconda delle specifiche dello strumento personalizzato.
D. l'alimentazione e la spina del nostro paese sono diverse. Come lo risolvete?
A. possiamo fornire un trasformatore e una spina secondo le vostre esigenze locali secondo la spina di alimentazione di diversi paesi.
D. come pagare?
AFT / T, L / C, D / P, ECC.
D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A.1. Cartello fumigativo standard per l'esportazione imballaggio in scatola di legno 2. Spedizione express, aerea, marittima secondo le esigenze del cliente, trovare il modo più adatto.
Grazie per il vostro impegno a rendere il mondo migliore!
Per qualsiasi domanda sul nostro spin coater, contattateci