Macchina di rivestimento a evaporazione termica sotto vuoto a tripla sorgente per deposizione di film su wafer

Servizio post-vendita: servizio on-line
Garanzia: un anno
Tipo: coater di evaporazione termica

Products Details

  • Panoramica
  • Descrizione del prodotto
  • Parametri del prodotto
  • Foto dettagliate
  • Profilo aziendale
  • FAQ
  • Contattaci
Panoramica

Informazioni di Base.

Model No.
TN-EVH300-III-HHH-SS
Rivestimento
Deposizione sottovuoto
Substrato
Acciaio
Certificazione
CE
Stato
Nuovo
nome del prodotto
macchina di rivestimento a evaporazione termica
fonte di evaporazione
barca o cesto
materiale di origine
tungsteno
corrente di evaporazione
300A
dimensioni tabella di esempio
150 mm
volatge
3 fase380 v, 50 hz
vuoto finale
1,0e-5pa
materiale della camera
us304
dimensioni camera
300*400mm
pompa di ritorno
1,1 l/s.
pompa molecolare
600 l/s.
Pacchetto di Trasporto
scatola di legno fumigata
Specifiche
1000*800*1500 mm
Marchio
n.
Origine
Repubblica Popolare Cinese
Codice SA
8543300090
Capacità di Produzione
10 impostato al mese

Descrizione del Prodotto

Macchina per rivestimento a evaporazione termica PVD a tripla sorgente sottovuoto per wafer Deposizione di pellicola
 
Descrizione del prodotto

PANORAMICA--EVAPORAZIONE TERMICA

L'evaporazione termica è una tecnica di deposizione fisica in fase di vapore molto diffusa per la sua semplicità. Durante questo processo, un materiale in ambiente ad alto vuoto viene riscaldato al suo punto di evaporazione mediante riscaldamento a joule dell'imbarcazione resistiva in cui è collocato. Le molecole vaporizzate viaggiano quindi dalla sorgente al substrato dove nucleano insieme, formando un rivestimento a pellicola sottile. Una vasta gamma di materiali può essere depositata usando questa tecnica quale alluminio, argento, nichel, cromo, magnesio, tra molti altri.

Caratteristiche della macchina di rivestimento a evaporazione termica:

Ci sono tre gruppi di fonti di evaporazione in questa apparecchiatura, che sono fonti di evaporazione di tungsteno barca ed elettrodi di rame raffreddati ad acqua, che possono sostenere una corrente massima di 260A, e la temperatura di riscaldamento può raggiungere fino a 1800ºC. Può realizzare l'evaporazione di vari metalli refrattari.
I tre gruppi sono indipendenti dalla fonte di evaporazione termica, non causeranno la contaminazione reciproca dei materiali di placcatura. L'apparecchiatura adotta un progetto integrato, la cavità e la parte di controllo elettrico sono separate a sinistra e a destra, che realizza la separazione dell'acqua e dell'elettricità, e garantisce efficacemente la sicurezza degli utenti.
La parte di controllo elettronico adotta il design della combinazione di touch screen e pannello pulsanti. Le funzioni ausiliarie, come il sistema di vuoto e la fase di campionamento, vengono azionate mediante un pulsante sul touch screen e l'accensione dell'evaporazione e del controllo dello spessore della pellicola vengono azionate in modo indipendente attraverso il pannello, il che è il più comodo possibile per gli utenti contemporaneamente. Evitare la possibilità di un uso improprio.
le attrezzature sono progettate in modo perfetto e offrono prestazioni eccellenti, ed è un must per gli esperimenti di rivestimento ad evaporazione ad alta precisione in laboratori.


 
Parametri del prodotto

Specifiche del coater a evaporazione termica:

Coater a evaporazione termica sottovuoto
Fase campione Dimensioni φ150mm
Riscaldamento Max. 500 C.
Rotante 0~20 giri/min, regolabile
Fonte di evaporazione Tungsteno barca / cesto*3
Potenza Ogni sorgente di evaporazione è dotata di un alimentatore indipendente, ed è disponibile contemporaneamente l'evaporazione
Camera a vuoto Dimensione cavità φ300x400mm
Finestra osservazione φ100mm anteriore
Materiale cavità SS304
Apertura  Apertura della porta anteriore
Controllo dello spessore della pellicola Monitor di spessore a film di quarzo, frequenza  0.10 Å
Sistema a vuoto  Pompa ausiliaria Pompa a palette rotante, 1,1 l/s.
Luce di scarico KF16
Pompa secondaria Pompa molecolare, 600 l/s.
Luce di scarico CF160
Misurazione del vuoto Vacuometro composito
Vuoto finale 5,0E-4Pa
Sistema di controllo Touch screen PLC+

Altro
Tensione di alimentazione AC380 V, 50 Hz
Dimensioni complessive 1000 mm x 800 mm x 1500 mm
Potenza totale 7 kW
Peso totale 350 kg
 
Foto dettagliate

1. Abbiamo coater di evaporazione termica con 1/2/3/4/8... sorgenti di evaporazione, lattine di evaporazione di metallo e materiale organico
Materiale della camera: Quarzo ad alta purezza-- basso vuoto, camera SS304-- alto vuoto
3. Il monitor dello spessore della pellicola è opzionale
4. Evaporazione termica, e-beam, magnetron sputtering in un'unica macchina è disponibile
Materiale diverso di fonte di evaporazione è disponibile
6. Personalizzare il coater di evaporazione termica in base al processo in uso
Triple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film DepositionTriple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film DepositionTriple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film Deposition


Triple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film Deposition

Triple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film Deposition

 
Profilo aziendale

Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. È una società completa che integra design, ricerca e sviluppo, produzione e vendite.

I prodotti principali della nostra azienda sono: Spin coater, Thermal evaporation coater, magnetron sputter  coater, plasma sputter coater, e-beam evaporation coater, Macchina per il rivestimento laser ad impulsi PLD, pulitore al plasma, sistema CVD, sistema PECVD, macchina per il taglio a filo diamantato, forno di fusione/stufa, forno di fusione ad arco, ecc.

I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati nel campo della ricerca scientifica sui materiali. Abbiamo una cooperazione estesa con università nazionali, laboratori e nuove aziende di materiali. È stato esportato con successo in più di 20 paesi e regioni, inclusi Stati Uniti, Regno Unito, Germania, Russia, Svizzera, Canada,  Brasile, ecc. e hanno stabilito rapporti di cooperazione a lungo termine con i commercianti locali.

Se state conducendo la ricerca sui materiali, vi preghiamo di contattarci e vi forniremo servizi personalizzati per rendere i vostri esperimenti di ricerca più fluidi!

Triple Source PVD Vacuum Thermal Evaporation Coating Machine for Wafer Film Deposition

 

FAQ

D. sono produttori o società di commercio?
R. Siamo produttori professionali di strumenti da laboratorio, abbiamo un team professionale di ricerca e sviluppo e un'officina in grado di garantire la qualità e il servizio post-vendita.  

D. come è la garanzia?
A.  la nostra garanzia è di 12 mesi e garantisce una manutenzione a vita. Offriamo servizio on-line 24 ore su 24.

D. quanto dura il tempo di consegna? Se si desidera personalizzare lo strumento, quanto tempo è necessario?
A. 5-10 giorni----in negozio. Prodotti personalizzati---di solito richiede 30-60 giorni a seconda delle vostre esigenze.

D. alimentazione e spina?
R. possiamo fornire prodotti conformi al vostro standard di tensione e spina locale.

D. come pagare?
A.  T T, L / C, D / P, ECC.

D. come si fa il pacchetto di merci? Metodi di consegna?
A.  segno standard di fumigazione per l'esportazione imballaggio in scatole di legno o secondo le vostre esigenze.

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